先端半導体の製造装置を発売

10/13/2023

　キヤノンは13日、高性能な先端半導体を低コストで製造できる露光装置を発売したと発表した。半導体の基板に微細な回路パターンを形成する際に、従来と異なる「ナノインプリント」という技術を使い、消費電力を抑えたのが特徴だ。宇都宮事業所（宇都宮市）で生産する。先端半導体の製造装置で先行するオランダのASMLに対抗することを目指す。

　キヤノンが売り出した装置は、コンピューターの「頭脳」となるロジック半導体に対応した回路の線の幅が5ナノメートル（ナノは10億分の1）相当のパターンを形成できる。改良を加えれば、さらに微細な2ナノメートル相当にも対応できると説明している。